國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-一種分析獨立式薄膜結構之薄膜張力之方法

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

李雨青,

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所有權人 Asignee

國立臺灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
中華民國	111147614	申請中	1110041TW0

點閱數：183

技術摘要：

利用半導體製程或微機電加工技術製作出來獨立式超薄膜結構廣泛應用在半導體製程與微機電元件中，由於薄膜厚度很薄，容易在製程中或是生產線上使用造成破壞或老化，薄膜張力跟薄膜品質有密不可分的關係，但是目前卻沒有有效的薄膜應力計算方法，本發明利用薄膜的振動頻率計算出各種不同材料之獨立式超薄膜結構的薄膜張力。利用演算法配合實驗所求得的張力大小，勢必對相關產業有莫大的幫助。本發明主要計算三種薄膜應力
一、薄膜結構的框邊應力
二、等向性材料之薄膜結構的全域式薄膜應力
三、非向性材料之薄膜結構的全域式薄膜應力
主要演算順序如下：
一、針對移動或式靜止的薄膜結構求其振動頻率
二、判斷薄膜本身 n 個振動頻率 (n>=2)
三、判斷上述 n 個振動頻率的模態
四、計算其薄膜張力

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