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李雨青
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機械工程系(所)
學經歷:
學歷: 國立交通大學機械工程系博士
專業技術
研究領域: 非破壞檢測、光測力學、波動力學、振動分析、殘留應力量測、半導體設備開發
專利介紹
薄膜檢測方法
利用半導體製程或微機電加工技術製作出來獨立式超薄膜結構廣泛應用在半導體製程與微機電......