國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-電控表面吸附力金屬玻璃奈米管陣列元件的製造

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

朱瑾, 陳建光,

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所有權人 Asignee

國立臺灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
中華民國	107118834	I678477	1070012TW0
美國	16/150,940	US10526512B2	1070012US0
中國	201821685683.9	CN209178455U	1070012CN0

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技術摘要：

本創作在矽晶片上鍍上鋁層，並且接上電及通電，利用電壓的大小來控制表面溫度，再鍍上氮化矽層作為緩衝層，接著在表面上利用微影法製造出奈米孔洞的高分子模板，然後將金屬玻璃濺鍍在奈米孔洞的高分子模板上，此時金屬玻璃會沉積在高分子孔洞的底部以及孔洞的側壁，經過超音波震盪清洗後，由於金屬玻璃的高韌性特質，沉積在奈米孔洞側壁的金屬玻璃並不會像一般金屬會被從表面剝離，而是形成一獨特金屬玻璃奈米管有序陣列的結構，若將水滴在此奈米管陣列上，水接觸角約130度，此時奈米管內則形成一封閉腔體，利用電壓來提升溫度讓腔體內氣體壓力提升產生一推升的力量，則會讓水滴的接觸角向上提升到150度，降低電壓，則會使腔體內空氣壓力下降，產生一個吸引的力量，則會讓水滴接觸角降低，若換算成每單位面積的吸附力，此奈米管陣列吸附力可在10 N/cm2與0.26 N/cm2間調整，可模仿壁虎在牆壁上行走的模式。

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