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研磨機台及其換墊方法POLISHING APPARATUS AND PAD REPLACING METHOD THEREOF
 
zoomin      
 
技術名稱
Technology
研磨機台及其換墊方法POLISHING APPARATUS AND PAD REPLACING METHOD THEREOF
發明人
Inventor
黃緒哲, 何光翎, 林淑怡,
所有權人
Asignee
國立台灣科技大學

專利國家
Country
申請號
Application No.
專利號
Patent No.
中心案號
Serial No.
美國 11/892047 US7572173 0950030US0
 
點閱數:321
技術摘要:
一種研磨機台及其換墊方法。研磨機台包括一第一夾具、一第二夾具及一研磨頭。第一夾具包括一第一上夾及一第一下夾。第一上夾及第一下夾用以上下夾持一第一研磨墊之一側邊。第二夾具包括一第二上夾及一第二下夾。第二上夾及第二下夾用以上下夾持第一研磨墊之另一側邊。當第一夾具及第二夾具夾持第一研磨墊且離開研磨頭時,第一研磨墊係可滑出第一夾具及第二夾具且一第二研磨墊係可滑入第一夾具及第二夾具。

     
 
     
 
     
 

 
   




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