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| 跑走型態評分輔助裝置 | ||
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| 目前碳化矽晶圓及晶體的缺陷檢測,使用結合拋光、蝕刻及顯微鏡觀察的破壞檢測方法。現行方法不僅耗時且成本高,更重要的是現行方法為破壞性檢測,因此只能做抽樣檢測,且檢...... |
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