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化學機械研磨設備終點檢測方法
 
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技術名稱
Technology
化學機械研磨設備終點檢測方法
發明人
Inventor
蔡明忠, 李振豪, 劉明曄,
所有權人
Asignee
國立台灣科技大學

專利國家
Country
申請號
Application No.
專利號
Patent No.
中心案號
Serial No.
中華民國 096132737 I352385 0950085TW0
 
點閱數:364
技術摘要:
一種化學機械研磨設備終點檢測方法包括下列步驟:首先,提供一連續運轉時間預設值與一終止運轉預設範圍。接著,啟動化學機械研磨設備,對膜層進行研磨。當化學機械研磨設備之運轉時間到達連續運轉時間預設值時,化學機械研磨設備進行一間歇性運轉。之後,偵測化學機械研磨設備對膜層研磨時所產生之一摩擦力訊號回饋值。當摩擦力訊號回饋值落入終止運轉預設範圍時,停止化學機械研磨設備之間歇性運轉。

     
 
     
 

 
   




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