國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-線切割放電的半導體/非導體材料加工

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

郭俊良, 鄭正元,

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所有權人 Asignee

國立臺灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
日本	2015-213096	6568451	1030068JP0
中華民國	103138441	I571339	1030068TW0

點閱數：2782

技術摘要：

本技術利用兩金屬夾板貼合於矽晶材料上，利用線導體與金屬夾板接觸瞬間引起放電作用，這個放電作用引發三個效果:

1.放電作用把金屬融化附著在線導體上，再由線導體與不良接觸工作件使之接觸，焊合在工作件的待切割面上, 造成一導通電迴路。

2.放電作用把金屬夾板融化後，濺散出微小的金屬顆粒，此顆粒隨冷卻液流動到切面並在線導體與切割工作件的切面產生連續放電。

3.這個放電作用無需浸泡於介電切削液中，只需於放電切削加工面保持一個近似保守的開放系統，一方面利於排渣，再者可以幫助金屬融層的流動。

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