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| ● | 技術名稱 Technology | |||||||||||||||||||||
| ● | 發明人 Inventor |
黃炳照, 蘇威年, 鄭正元, 朱元翰, 邱則明, 鄧信甫, | ||||||||||||||||||||
| ● | 所有權人 Asignee | 國立臺灣科技大學 | ||||||||||||||||||||
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| 點閱數：2280 | ||||||||||||||||||||||
| 技術摘要： |
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| 本技術針對非導體材料，特別是矽，利用該材料對氧化劑會化學反應之特性，可以搭配適當的條件 (不同配比之腐蝕液、溫度、溶液酸鹼值或添加劑等)，可以針對該非導體材料進行加工。此加工可涵蓋，例如切割、表面蝕刻、規則或非規則性的圖案化、表面處理等，同時依據不同應用需求予以調整。 |
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| 相關圖片： |
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