國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-一種以氣體添加研磨液輔助拋光之方法

研發人才登入

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

陳炤彰, 周炳伸, 杜維剛,

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所有權人 Asignee

國立臺灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
美國	14/251,603	US9193032B2	1010104US0
中國	201310185486.6	CN104108072B	1010104CN0
中華民國	102113466	I517935	1010104TW0
日本	特願2014-084617	5721245	1010104JP0

點閱數：2147

技術摘要：

本專利有別於一般之研磨液，以一調節裝置控制研磨液中之氣體含量達到輔助拋光製程之方法，其氣體包括氧、二氧化碳、氮及其他單純反應氣體之含量，以氣體分壓方式使氣體於水中含量增加，以達到製程材料表面反應層之快速生成及表面全平坦化，使製程時間減短及表面品質改善。並由於添加裝置為使水中反應氣體加壓融入，製程進行時可使反應氣體快速析出，以達到與材料表面快速反應之方法，加速材料表面之移除率。

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