國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-同心圓式陰影疊紋量測技術

●

技術名稱 Technology

●

發明人 Inventor

謝宏麟, 楊育丞, 賈皓文,

●

所有權人 Asignee

國立臺灣科技大學

●

專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
中華民國	113149656	申請中	1130042TW0

點閱數：5

技術摘要：

本發明提出一套創新的「同心圓式陰影疊紋量測技術」，並將其應用於量測待測物（如：未拋光晶圓）的表面形貌。此套量測技術是以陰影疊紋理論作為學理基礎，並獨創性地採用同心圓光柵作為形成陰影疊紋影像的關鍵元件，有效克服當待測物表面結構方向與常見線性式陰影疊紋方向相互平行時，其量測結果將失真或存在誤差之問題。此套「同心圓式陰影疊紋量測技術」由光源模組、同心圓光柵檢測模組、影像擷取模組與影像分析模組所組成，其系統架構簡單，具備全域式、大面積、高解析度及高穩定性的量測能力。

相關圖片：