● | 技術名稱 Technology | |||||||||
● | 發明人 Inventor |
黃炳照, 楊盛强, 許峻瑝, 蘇威年, 蔡秉均, 朱冠霖, | ||||||||
● | 所有權人 Asignee | 國立臺灣科技大學 | ||||||||
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本技術揭露一種連續式濕式原子沉積技術,可自由選擇一種或多種前驅物均勻沉積在粉體上,相較於現今低產率的乾式原子沉積技術,沒有反應腔體容積限制,沒有繁瑣的製程,本技術更可以設計成連續式製程運用在產業上。 |
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