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技術名稱 Technology
發明人 Inventor
朱瑾, 張庭豪,
所有權人 Asignee 國立臺灣科技大學

專利國家 Country 申請號 Application No. 專利號 Patent No. 中心案號 Serial No.
中華民國 111142498 申請中 1110048TW0
中國 202211392844.6 申請中 1110048CN0
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技術摘要:
本創作技術使用微影製程的方式製作出多孔狀的模板,再使用物理氣相沉積(PVD)後,透過改良剝離(Lift-off)製程技術,在不需要蝕刻(Etching)技術的情況下,將頂層的多孔狀薄膜於丙酮溶液內進行分離,將分離出的薄膜,透過本團隊技術將多孔狀薄膜放置於所選用之任何基板上面。

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