● | 技術名稱 Technology | |||||||||||||
● | 發明人 Inventor |
朱瑾, 張庭豪, | ||||||||||||
● | 所有權人 Asignee | 國立臺灣科技大學 | ||||||||||||
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點閱數:457 |
技術摘要: | ||||||||||||||||||||||||||||||||
本創作技術使用微影製程的方式製作出多孔狀的模板,再使用物理氣相沉積(PVD)後,透過改良剝離(Lift-off)製程技術,在不需要蝕刻(Etching)技術的情況下,將頂層的多孔狀薄膜於丙酮溶液內進行分離,將分離出的薄膜,透過本團隊技術將多孔狀薄膜放置於所選用之任何基板上面。 |
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相關圖片: | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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