國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-金屬玻璃鍍層應用於鑽石碟以增益化學機械平坦化製程

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

朱瑾, 陳炤彰, 莊英泰, 宋政潮,

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所有權人 Asignee

國立臺灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
中華民國	111133575	I 824695	1110035TW0

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技術摘要：

本創作技術使用高功率脈衝磁控濺鍍(HIPIMPS)製程將奈米尺度之金屬玻璃薄膜(TFMG)塗佈於鑽石碟表面，並將其應用於化學機械平坦化製程中。由於金屬玻璃薄膜所具備之高強度、耐腐蝕及低摩擦係數等特性，不僅避免金屬底座受研磨液所腐蝕，還能保護用於固定鑽石顆粒的合金焊料。此外，晶圓在進行化學機械平坦化製程後可使晶圓薄膜移除效率穩定，且經由鋯基及鉬基金屬玻璃鑽石碟對拋光墊修整後能對晶圓粗糙度有效地下降，其下降百分比如下:未鍍膜(2-4%)、鋯基金屬玻璃(8-10%)、鉬基金屬玻璃(9-16%)。

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