國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-純金屬和合金有序排列奈米管陣列

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

朱瑾, 曾冠瑋,

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所有權人 Asignee

國立臺灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
中華民國	109121906	I764185	1090037TW0

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技術摘要：

本創作技術使用微影製程的方式製作出多孔狀的模板，再使用物理氣相沉積(PVD)後，移除最頂層的薄膜，製成純金屬和多元合金奈米管陣列，但因純金屬和多元合金的機械性質較差且PVD在模板上沉積會造成較差的階梯覆蓋率(step coverage)，所以當要去除光阻劑上的金屬薄膜時，會導致純金屬和多元合金奈米管底部連接處斷掉，故本團隊利用鎢的良好機械性質成功做出純金屬或多元合金金屬玻璃奈米管陣列，中間層沉積鎢基金屬薄膜，利用其良好的機械性質，在去除光阻劑上金屬薄膜時，因鎢基金屬薄膜的強度高，故在去除光阻劑上金屬薄膜時，使奈米管不會隨著頂層金屬薄膜斷裂，成功製程大面積純金屬和多元合金的奈米管陣列，不止提升了純金屬和多元合金奈米管的良率，且適用不同種純金屬和多元合金，除尺寸大小、形狀可以改變外，以純金屬和合金的奈米管當作載體，擴增氧化鋅和金等材料在奈米管中。

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