國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-化學機械研磨設備終點檢測方法

研發人才登入

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

蔡明忠, 李振豪, 劉明曄,

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所有權人 Asignee

國立台灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
中華民國	096132737	I352385	0950085TW0

點閱數：1751

技術摘要：

一種化學機械研磨設備終點檢測方法包括下列步驟：首先，提供一連續運轉時間預設值與一終止運轉預設範圍。接著，啟動化學機械研磨設備，對膜層進行研磨。當化學機械研磨設備之運轉時間到達連續運轉時間預設值時，化學機械研磨設備進行一間歇性運轉。之後，偵測化學機械研磨設備對膜層研磨時所產生之一摩擦力訊號回饋值。當摩擦力訊號回饋值落入終止運轉預設範圍時，停止化學機械研磨設備之間歇性運轉。

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