國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-化學機械拋光裝置及其化學機械拋光方法

研發人才登入

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

陳炤彰, 許厲生,

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所有權人 Asignee

國立台灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
中華民國	097108401	I367524	0950039TW1

點閱數：2366

技術摘要：

一種化學機械拋光裝置及其化學機械拋光方法。

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