國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-不同花紋及形貌研磨墊的有效研磨頻率及次數之分析方法

研發人才登入

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

林榮慶, 陳健忠,

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所有權人 Asignee

國立台灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
中華民國	096121754	I321503	0950100TW0
美國	12/056,050	US7991216B2	0950100US0

點閱數：1693

技術摘要：

本發明揭露一種有關化學機械研磨對具有不同花紋及形貌的研磨墊研磨晶圓的研磨頻率及次數之數值分析方法,本方法將晶圓與研磨墊的不同花紋及形貌圖像轉換成二值化(binary)影像,以數值矩陣方式運算,僅須計算相對運動下位置變換及不同花紋及形貌轉動變形時的研磨次數的修正模式,並以有效研磨次數疊加模式來估算設定的研磨路徑下,一段研磨時間內的有效研磨次數分佈狀態。

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