國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-化學機械拋光裝置及其研磨頭

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

陳炤彰, 許厲生,

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所有權人 Asignee

國立臺灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
中華民國	095144234	I359451	0950027TW0

點閱數：2345

技術摘要：

一種化學機械拋光裝置及其研磨頭。化學機械拋光裝置用以拋光一矽晶圓之表面。化學機械拋光裝置包括一承載平台及一研磨頭。承載平台用以貼附一拋光墊。研磨頭係設置於承載平台之上方。研磨頭包括一夾持元件及一拋光環。夾持元件用以夾持矽晶圓。拋光環係套接於夾持元件及矽晶圓外圍。拋光環具有一內壁表面、一外壁表面及一接觸表面,接觸表面係設置於內壁表面及外壁表面之間。拋光環係以接觸表面抵觸拋光墊。其中至少部分之接觸表面傾斜於承載平台。

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