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非導體的電化學-化學加工技術
 
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技術名稱
Technology
非導體的電化學-化學加工技術
發明人
Inventor
黃炳照, 蘇威年, 鄭正元, 朱元翰, 邱則明, 鄧信甫,
所有權人
Asignee
國立臺灣科技大學

專利國家
Country
申請號
Application No.
專利號
Patent No.
中心案號
Serial No.
歐盟 16154208.9 申請中 1020138EU0
中華民國 104104167 I585841 1020138TW0
中國 201610042291.X 申請中 1020138CN0
美國 15/015,061 US9,852,948B2 1020138US0
日本 2016-019367 申請中 1020138JP0
美國 15/816,247 申請中 1020138US1
 
點閱數:486
技術摘要:
本技術針對非導體材料,特別是矽,利用該材料對氧化劑會化學反應之特性,可以搭配適當的條件 (不同配比之腐蝕液、溫度、溶液酸鹼值或添加劑等),可以針對該非導體材料進行加工。此加工可涵蓋,例如切割、表面蝕刻、規則或非規則性的圖案化、表面處理等,同時依據不同應用需求予以調整。

     
 

 
   




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