國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-金屬、氮化物和氧化物等材質有序排列奈米及微米洞陣列薄膜

研發人才登入

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

朱瑾, 張庭豪,

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所有權人 Asignee

國立臺灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
中華民國	111142498	I827348	1110048TW0
中國	202211392844.6	申請中	1110048CN0

點閱數：293

技術摘要：

本創作技術使用微影製程的方式製作出多孔狀的模板，再使用物理氣相沉積(PVD)後，透過改良剝離(Lift-off)製程技術，在不需要蝕刻(Etching)技術的情況下，將頂層的多孔狀薄膜於丙酮溶液內進行分離，將分離出的薄膜，透過本團隊技術將多孔狀薄膜放置於所選用之任何基板上面。

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