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技術名稱 Technology
發明人 Inventor
陳炤彰, 廖紘毅,
所有權人 Asignee 國立臺灣科技大學

專利國家 Country 申請號 Application No. 專利號 Patent No. 中心案號 Serial No.
中華民國 110107111 申請中 1090095TW0
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技術摘要:
本發明別於商用馬達扭矩系統以統計學方式計算來偵測拋光終點,將馬達扭矩訊號經訊號處理抓取轉速頻率,以卷積神經網路(Convolutional neural network, CNN)建立終點特徵辨識以及訊號預測的模型。並應用於銅膜晶圓(Copper blanket wafer)拋光,針對拋光至阻障層的監測。

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