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電控表面吸附力金屬玻璃奈米管陣列元件的製造
 
     
 
技術名稱
Technology
電控表面吸附力金屬玻璃奈米管陣列元件的製造
發明人
Inventor
朱瑾, 陳建光,
所有權人
Asignee
國立臺灣科技大學

專利國家
Country
申請號
Application No.
專利號
Patent No.
中心案號
Serial No.
中華民國 107118834 申請中 1070012TW0
美國 16/150940 申請中 1070012US0
中國 201821685683.9 申請中 1070012CN0
 
點閱數:110
技術摘要:
本創作在矽晶片上鍍上鋁層,並且接上電及通電,利用電壓的大小來控制表面溫度,再鍍上氮化矽層作為緩衝層,接著在表面上利用微影法製造出奈米孔洞的高分子模板,然後將金屬玻璃濺鍍在奈米孔洞的高分子模板上,此時金屬玻璃會沉積在高分子孔洞的底部以及孔洞的側壁,經過超音波震盪清洗後,由於金屬玻璃的高韌性特質,沉積在奈米孔洞側壁的金屬玻璃並不會像一般金屬會被從表面剝離,而是形成一獨特金屬玻璃奈米管有序陣列的結構,若將水滴在此奈米管陣列上,水接觸角約130度,此時奈米管內則形成一封閉腔體,利用電壓來提升溫度讓腔體內氣體壓力提升產生一推升的力量,則會讓水滴的接觸角向上提升到150度,降低電壓,則會使腔體內空氣壓力下降,產生一個吸引的力量,則會讓水滴接觸角降低,若換算成每單位面積的吸附力,此奈米管陣列吸附力可在10 N/cm2與0.26 N/cm2間調整,可模仿壁虎在牆壁上行走的模式。


 
   




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