國立台灣科技大學-專利商品網-專利推廣清單-以黃光微影製程製作上接觸式有機薄膜電晶體

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

范慶麟, 林禹佐, 李政頡, 林暐鈞,

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所有權人 Asignee

國立臺灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.	年費有效日期
中華民國	103130621	I548002	1030003TW0	2021/08/31

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技術摘要：

本新式技術為發展一個有機薄膜電晶體的製作方法，其可針對擁有較佳電特性的上接觸式元件結構，讓有機主動層、金屬源極/汲極可以使用傳統黃光微影製程達到圖案化之功效，同時在不額外增加製程步驟之條件下，有機主動層上即有一緩衝層，可在其上以化學溶劑或電漿製程製作高阻水氧能力之元件保護層。

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