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以黃光微影製程製作上接觸式有機薄膜電晶體
 
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技術名稱
Technology
以黃光微影製程製作上接觸式有機薄膜電晶體
發明人
Inventor
范慶麟, 林禹佐, 李政頡, 林暐鈞,
所有權人
Asignee
國立臺灣科技大學

專利國家
Country
申請號
Application No.
專利號
Patent No.
中心案號
Serial No.
中華民國 103130621 I548002 1030003TW0
美國 1030003US0
 
點閱數: 458
技術摘要:
本新式技術為發展一個有機薄膜電晶體的製作方法,其可針對擁有較佳電特性的上接觸式元件結構,讓有機主動層、金屬源極/汲極可以使用傳統黃光微影製程達到圖案化之功效,同時在不額外增加製程步驟之條件下,有機主動層上即有一緩衝層,可在其上以化學溶劑或電漿製程製作高阻水氧能力之元件保護層。


 
   




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