國立台灣科技大學-專利商品網-專利推廣清單-結合田口法及類神經網路建構近場光學微影線段加工預測模式

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

林榮慶, 楊慶彬,

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所有權人 Asignee

國立台灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.	年費有效日期
美國	11/760,795	US7747419B2	0950075US0	2021/12/28

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技術摘要：

一種結合田口法實驗資料及類神經網路學習之優點,以建立一套實驗次數少、預測時間短及預測精度高的預測方法。本發明先以微影加工實驗結果與近場光學微影加工理論模式之模擬結果的兩者結果誤差為目標函數,逆解出光纖探針之口徑,再進一步進行田口實驗。經過田口類神經網路模式之分析結果,證實了本發明所建構之田口類神經網路模式比以傳統田口法實驗資料當作訓練例之網路可提供更為精確的預測結果,同時可改善傳統類神經網路需大量訓練例之缺點。本發明之田口類神經網路之預測模式,在近場光學微影線段加工應用上具有產業應用價?。

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