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超精密加工3D微奈米圖案化模具及製作方法
 
zoomin      
 
技術名稱
Technology
超精密加工3D微奈米圖案化模具及製作方法
發明人
Inventor
鄭正元, 吳珮瑩, 涂國祥,
所有權人
Asignee
國立臺灣科技大學

專利國家
Country
申請號
Application No.
專利號
Patent No.
中心案號
Serial No.
美國 14/921,947 申請中 1030100US0
 
點閱數:287
技術摘要:
超精密模具及加工流程開發,此發明之模具規格比照業界之需求,將所需求之3D圖案化微結構製作成模具,利用壓印或蝕刻的方式來大量製作微結構於矽基板上,以應用GaN on Si基板的製作,不同於以往的微影製程所生成的2.5D圖案化微結構,本創作之3D圖案化微結構模具可搭配選擇性區域逐步蝕刻,在矽基板上完成3D的圖案化微結構。本實施例應用於矽基板上,亦可用於藍寶石基板或LED產業。


 
   




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