國立台灣科技大學-專利商品網-專利技術-用於檢測設備之噴嘴

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技術名稱 Technology

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發明人 Inventor

陳炤彰, 蔡雨彤, 莊程媐, 林建憲, 薛慶堂, 黃柏晴,

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所有權人 Asignee

國立臺灣科技大學

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專利國家 Country	申請號 Application No.	專利號 Patent No.	中心案號 Serial No.
中華民國	109118098	申請中	1090028TW0

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技術摘要：

於旋轉平台上，採噴氣氣流與水膜流動方向相反設計，利用氣流將水膜預先排空，使量測點在待量測平台高速旋轉下依舊可保持無水膜影響情況

設計一旁通道，使裝置可通入特殊氣體，目的為檢測期間在能夠保護Pad(維持特性)的情況下，依然能順利量測訊號。

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