關於我們 聯絡我們 研發人才登入


 
結合田口法及類神經網路建構近場光學微影線段加工預測模式
 
zoomin      
 
技術名稱
Technology
結合田口法及類神經網路建構近場光學微影線段加工預測模式
發明人
Inventor
林榮慶, 楊慶彬,
所有權人
Asignee
國立台灣科技大學

專利國家
Country
申請號
Application No.
專利號
Patent No.
中心案號
Serial No.
美國 11/760795 US7747419 0950075US0
 
點閱數:330
技術摘要:
一種結合田口法實驗資料及類神經網路學習之優點,以建立一套實驗次數少、預測時間短及預測精度高的預測方法。本發明先以微影加工實驗結果與近場光學微影加工理論模式之模擬結果的兩者結果誤差為目標函數,逆解出光纖探針之口徑,再進一步進行田口實驗。經過田口類神經網路模式之分析結果,證實了本發明所建構之田口類神經網路模式比以傳統田口法實驗資料當作訓練例之網路可提供更為精確的預測結果,同時可改善傳統類神經網路需大量訓練例之缺點。本發明之田口類神經網路之預測模式,在近場光學微影線段加工應用上具有產業應用價?。

     
 
     
 
     
 

 
   




國立臺灣科技大學 技轉中心 10607 台北市大安區基隆路 4 段 43 號 國際大樓 9 樓 TEL:02-2733-3141 #7346
2007~2018 © NTUST All Rights Reserved  著作權聲明
 參訪人數:
本系統採用專利行銷平台